一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统与方法

本发明公开了一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统与方法，属于球形硅微粉技术领域，所述系统包括：工艺参数采集模块，配置为采集超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据；工艺参数处理模块，配置为对采集的超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据进行处理；粒度分布调控模块，配置为构建超细高纯球形硅微粉粒度分布预测模型，预测超细高纯球形硅微粉粒度分布情况，并对超细高纯球形硅微粉粒度分布进行闭环调控。本发明解决现有的不能对超细高纯球形硅微粉粒度分布进行有效地调控，不能较好地满足使用需求的问题。本发明可对超细高纯球形硅微粉粒度分布进行有效地调控，提升制备的超细高纯球形硅微粉使用效果，可较好地满足使用需求。