一种太赫兹焦平面阵列探测器芯片及其制备方法

本发明公开了一种太赫兹焦平面阵列探测器芯片及其制备方法，芯片包括肖特基二极管像元和Crossbar多路读出结构两部分，其中肖特基二极管像元包括欧姆接触和肖特基接触两部分；Crossbar多路读出结构包括横电极、纵电极，以及横电极与纵电极间的隔离层三部分，横电极与纵电极成交叉排列，横电极与纵电极间的隔离层，处在横电极与纵电极之间；肖特基二极管像元与Crossbar多路读出结构通过金属导线相连接。本发明解决了太赫兹焦平面阵列探测器芯片多路读出的难题，同时避免了横纵电极之间交叉造成的短路、断路问题。