摘要
本发明公开了一种电子显微镜用可传样低温样品台,包括样品台组件以及对样品台组件提供冷量的制冷单元;所述样品台组件包括:样品板,该样品板通过可脱离的导热件与所述制冷单元的冷端热连接;可以轴向移动的定位件,该定位件轴向上移到位时,可以使得导热件与所述样品板紧密接触,下移后可以释放所述导热件使其与所述样品板脱离;能够驱动所述定位件进行轴向移动的驱动件。本发明的样品台整体结构紧凑,采用制冷芯片提供冷量,大大缩减了制冷系统所需的空间;同时导热件采用可脱离结构,利用传样杆头部可以快速实现对导热件传热状态的控制,同时利用传样杆头部可快速便捷的实现对样品台的转移和传送。
技术关键词
低温样品台
电子显微镜
样品台组件
样品板
制冷单元
制冷芯片
安装块
弹性导热件
法兰盘结构
供气系统
凹槽侧壁
圆台结构
驱动件
制冷系统
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