一种电子显微镜用可传样低温样品台

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一种电子显微镜用可传样低温样品台
申请号:CN202510416856
申请日期:2025-04-03
公开号:CN120236966A
公开日期:2025-07-01
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种电子显微镜用可传样低温样品台,包括样品台组件以及对样品台组件提供冷量的制冷单元;所述样品台组件包括:样品板,该样品板通过可脱离的导热件与所述制冷单元的冷端热连接;可以轴向移动的定位件,该定位件轴向上移到位时,可以使得导热件与所述样品板紧密接触,下移后可以释放所述导热件使其与所述样品板脱离;能够驱动所述定位件进行轴向移动的驱动件。本发明的样品台整体结构紧凑,采用制冷芯片提供冷量,大大缩减了制冷系统所需的空间;同时导热件采用可脱离结构,利用传样杆头部可以快速实现对导热件传热状态的控制,同时利用传样杆头部可快速便捷的实现对样品台的转移和传送。
技术关键词
低温样品台 电子显微镜 样品台组件 样品板 制冷单元 制冷芯片 安装块 弹性导热件 法兰盘结构 供气系统 凹槽侧壁 圆台结构 驱动件 制冷系统 通孔 作用力 弹簧
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