基于扩散模型的芯片缺陷检测方法、装置、设备及介质

本申请公开了基于扩散模型的芯片缺陷检测方法、装置、设备及介质，涉及芯片缺陷检测技术领域，包括：利用噪声编码器对加噪后的历史分割图像进行特征提取得到当前噪声特征；利用图像编码器对历史RGB原始图像进行特征提取得到当前图像特征，结合上述特征得到当前特征结合信息；利用注意力模块对当前特征结合信息进行处理，得到当前芯片缺陷预测图像和当前带噪声图像；通过噪声编码器对当前带噪声图像进行特征提取得到新的当前噪声特征，并利用提取模块对当前芯片缺陷预测图像进行特征提取以得到新的当前图像特征；重复上述步骤，直至满足预设训练结束条件，并输出相应的训练后芯片缺陷检测模型。如此一来，准确、灵活地实现了对芯片缺陷的检测。