一种高精高速的共晶机

本发明涉及一种高精高速的共晶机，通过有机架集成基板上料、晶圆上料、共晶、校正及下料模组，配合物料移栽模组的跨模组输送能力，实现多工序无缝衔接，减少物料周转时间，提升生产效率30％以上，同时节省设备占地面积；共晶模组与芯片校正模组分别配置第一、第二多维度纠偏装置，支持X/Y/θ轴等多自由度微调，可自动补偿基板与芯片的装配误差，实现高精度对位，显著提升键合良率至99.5％以上；基板上料与晶圆上料模组通过Y轴直线模组驱动精准定位，结合物料移栽模组的自动吸取及成品下料模组的自动吸取，实现从原料到成品的全流程无人化操作，降低人工干预带来的污染风险，节约人力成本50％。