摘要
一种基于子区波前校正的单帧散斑偏折测量方法,属于光学测量技术领域,包括:基于单目偏折测量系统,由屏幕向待测镜面投射标准散斑图像,并采集待测镜面反射的单帧变形散斑图像;利用基于标记点的Zernike多项式投影畸变校正方法处理反射图像,校正非正交光路导致的反射图像投影畸变;基于子区域波前拟合校正与迭代配准算法,获取反射图像与标准图像的亚像素点映射;基于系统标定及相机标定,建立空间入、反射光线模型,获得待测镜面表面梯度分布,并重建待测镜面三维形貌。本发明无需参考平面,能够实现仅采集单帧图像的高反光表面面形测量,并且通过子区波前校正提高了散斑偏折测量的动态范围及精度,表面重建精度可达百纳米。
技术关键词
投影畸变校正方法
测量方法
散斑图案
多项式
标记点中心
形态学图像处理
散斑图像
坐标系
多通道
畸变参数
相机标定
亚像素配准
相机内部参数
镜面
迭代优化算法
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