一种用于半导体芯片切筋加工的去溢料结构

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一种用于半导体芯片切筋加工的去溢料结构
申请号:CN202510434811
申请日期:2025-04-08
公开号:CN120280374A
公开日期:2025-07-08
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片加工技术领域,具体公开了一种用于半导体芯片切筋加工的去溢料结构,包括工作台、顶板、升降装置,工作台内部设置有用于存放芯片本体的收纳槽,所述顶板连接有升降装置;所述芯片本体包括引线、连接筋、溢料区域;所述顶板上设置有溢料清除单元;所述工作台上设置有切割单元,切割单元用于切掉卡接区域中的上板。本发明切割单元启动时,通过左右移动单元将进给气缸移动至卡接区域处对应的位置处,进给气缸带动切割框架、两个切割刀向上板所处的区域移动,两个切割刀将上板与中间板、下板分离,切割单元对上板进行切割的同时,侧激光切割装置、中间激光切割装置启动,可完成了芯片本体上连接筋的清除工作。
技术关键词
半导体芯片 激光切割装置 切割单元 切割刀 升降装置 升降螺母 工作台 移动单元 升降电机 顶板 吸附单元 侧压板 压料单元 支撑杆 风管 丝杠 气缸 底板 壳体
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