摘要
本发明公开了一种耐高温LED芯片及其制备方法、显示屏,涉及LED制造领域。制备方法包括:刻蚀外延片形成导电台阶;形成第一光刻胶层、第二光刻胶层;形成光刻胶开口;蒸镀反射层、焊线层;去除第一光刻胶层、第二光刻胶层;形成钝化层并开孔。光刻胶开口包括第一开口和第二开口,第一开口的横截面的侧壁包括第一直线段;第二开口的横截面的侧壁包括第二直线段;第一直线段、第二直线段与外延片的表面的夹角为α1、α2,α2‑α1≥65°;反射层的侧壁、焊线层的侧壁与外延片的表面的夹角为β1、β2;β2‑β1≥60°。焊线层的侧壁与反射层的侧壁之间的距离≥2μm;实施本发明,可提升LED芯片的耐高温性能,提升其可靠性。
技术关键词
LED芯片
光刻胶层
外延片
直线段
显影液
曝光光源
半导体层
显示屏
光强
压强
衬底
层叠
台阶
波长
导电
成品
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