大尺寸晶圆上的中小规模集成电路Die原位检测方法

本发明针对大尺寸晶圆上中小规模集成电路芯片的高效检测问题，提出一种基于随机化抽样和动态调整的原位检测方法。该方法的核心在于动态调整随机化抽检概率：可靠性高的区域降低抽检频次，可靠性低的区域提高抽检频次。同时，引入惩罚与奖励机制，对可靠性差的区域增加抽检频次进行“惩罚”，对可靠性高的区域减少抽检频次给予“奖励”，能够在保证检测精度的同时，显著提高检测效率，降低生产成本，特别适用于大尺寸晶圆的高效检测场景。