一种二维复合激光清洗装置

本发明提供了一种二维复合激光清洗装置，涉及激光清洗技术领域，所述二维复合激光清洗装置包括二维振镜扫描组合封装、脉冲激光准直镜、光路准直折返封装、连续激光准直镜、平面场镜和工作平台，所述脉冲激光准直镜和连续激光准直镜分别连接于所述光路准直折返封装的两端，所述光路准直折返封装上设有机械臂转接模块，所述脉冲激光准直镜用于与纳秒脉冲激光器连接，所述连续激光准直镜用于与连续激光器连接，所述光路准直折返封装用于对脉冲激光、连续激光进行准直和压缩合并，以输出平行复合光束。本发明，能够有效抑制场曲和畸变，并改善光束扫描的能量不均匀现象。