摘要
本发明公开了一种宽波段光谱仪及其测量方法,包括可旋转切换的分束器模块、可调节定镜模块、动镜模块、动镜反射镜和可旋转切换的探测器模块;分束器模块的测量光入射路径上设置有测量光源;动镜模块和动镜反射镜依次设置在分束器模块的测量光一次透射路径上;可调节定镜模块设置在测量光一次反射路径上;探测器模块设置在测量光二次反射光路径上,探测器模块用于探测测量光二次反射光和测量光二次透射光。还包括测量方法。本发明的调制型光谱仪配合控制方法,能够提升光路准直性,减少由动镜非线性运动导致的光路误差;能实现宽波段范围的高效测量,降低设备成本;提高光谱仪系统的稳定性和精度,适用于复杂环境中的在线测量。
技术关键词
分束器模块
激光反射镜
压电陶瓷促动器
四象限探测器
光谱仪
运动电机
反射光
光斑面积
测量方法
激光校准
芯片
直线音圈电机
透射光
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