一种用于芯片测试的芯片上料设备

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一种用于芯片测试的芯片上料设备
申请号:CN202510453456
申请日期:2025-04-11
公开号:CN120300041A
公开日期:2025-07-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片测试技术领域,具体涉及一种用于芯片测试的芯片上料设备;包括取料机构、晶圆盒、上料扩膜台、工作台、扩膜旋转电机、扩膜升降电机、通孔、多个扩膜升降螺纹套、扩膜升降板、扩膜放置台、C形卡槽、上料支架、上料电缸丝杆、上料放置板、上料夹爪电缸丝杆、上料夹爪板、上料夹爪机构、托起台、顶针机构、Y向移动机构、X向移动机构和托起架,扩膜升降螺纹套内螺纹设置有扩膜升降螺杆,通过上料夹爪机构可适应不同尺寸和形状的芯片抓取;而顶针机构、Y向移动机构和X向移动机构相互配合,能实现芯片在多个方向上的灵活移动和定位,而取料机构呈上下两层交替运动,可适应不同取料需求。
技术关键词
上料设备 上料夹爪机构 Y向移动机构 顶针杆 芯片 顶针机构 滑座 螺纹套 导轨 手指气缸 取料机构 导正机构 移动端 移动座 升降螺杆 晶圆盒 旋钮螺杆
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