摘要
本发明涉及芯片测试技术领域,具体涉及一种用于芯片测试的芯片上料设备;包括取料机构、晶圆盒、上料扩膜台、工作台、扩膜旋转电机、扩膜升降电机、通孔、多个扩膜升降螺纹套、扩膜升降板、扩膜放置台、C形卡槽、上料支架、上料电缸丝杆、上料放置板、上料夹爪电缸丝杆、上料夹爪板、上料夹爪机构、托起台、顶针机构、Y向移动机构、X向移动机构和托起架,扩膜升降螺纹套内螺纹设置有扩膜升降螺杆,通过上料夹爪机构可适应不同尺寸和形状的芯片抓取;而顶针机构、Y向移动机构和X向移动机构相互配合,能实现芯片在多个方向上的灵活移动和定位,而取料机构呈上下两层交替运动,可适应不同取料需求。
技术关键词
上料设备
上料夹爪机构
Y向移动机构
顶针杆
芯片
顶针机构
滑座
螺纹套
导轨
手指气缸
取料机构
导正机构
移动端
移动座
升降螺杆
晶圆盒
旋钮螺杆
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