基于扫描探针显微镜的表面电势测量方法及装置

本发明所提供的基于扫描探针显微镜的表面电势测量方法及装置，该方法包括：获取扫描探针显微镜上的探针在待测样品表面振动时的时域振动信号，将时域振动信号进行频域变换处理，对频域振动信号进行首次去噪处理，通过带通滤波对去噪后频域振动信号进行滤波处理；根据滤波后频域振动信号和预先测试出的探针的频响函数计算静电力，基于静电力确定待测样品的表面电势。本发明在对探针的频域振动信号进行首次去噪后，再通过带通滤波的方式，实现对初步去噪后的频域振动信号的再次去噪，从而能够提高探针振动数据的信噪比，使得去噪针对性增强，提高去噪效果，从而能够解决现有技术中测量表面电势时间分辨率低问题。