基于扫描探针显微镜的载流子迁移速度测试方法及装置

本发明所提供的基于扫描探针显微镜的载流子迁移速度测试方法及装置，该方法包括：将获取到的扫描探针显微镜上的探针在待测样品表面振动时的时域振动信号变换至频域，对频域振动信号进行首次去噪处理，通过带通滤波对去噪后频域振动信号进行滤波处理，根据滤波后频域振动信号和频响函数计算探针受到的静电力，根据基于静电力确定出的待测样品的表面电势生成表面电势演化画面，在表面电势演化画面上做出等势线，基于表面电势演化画面上的等势线计算载流子迁移速度。本发明通过带通滤波的方式解决测量表面电势时间分辨率低，且噪声去除针对性低，效果不理想的问题，从而能够测量出迁移较快的载流子，解决了难以测量迁移较快的载流子的问题。