一种光纤激光在线清洁塑封模具的工艺方法及装置

本申请公开了一种光纤激光在线清洁塑封模具的工艺方法及装置，涉及塑封模具清洁技术领域，该装置通过设置AGV移动装置、机械臂和清洁头，能够实现塑封模具的自动清洁；选用光纤激光作为激光源，利用激光的瞬时能量高、端作用时间、非接触等特性，对塑封模具进行彻底而无损伤的清洁；半定量的提供了光路硬件选型依据、激光参数选取方法（即预设激光清洁参数），精确匹配激光参数与塑封模具表面污物及基体材料的特性，实现了对塑封模具表面的高效彻底清洁，同时有效实现了激光扫描路径和清洁路径上的能量均匀分布，在保证污染物能够彻底清洁的同时避免对塑封模具本身产生损坏。