一种离轴角精密测量方法

本发明提供一种离轴角精密测量方法，涉及光学测量技术领域，解决了现有技术中机械接触式测量法易划伤镜面、分辨率低，光学干涉法依赖昂贵元件且易受环境干扰，自准直仪转台法测量范围受限，以及激光跟踪仪多点标定法设备成本高、数据处理复杂等技术问题。其技术方案为:将光电经纬仪、离轴镜及激光干涉仪同轴安装，通过光电经纬仪建立基准坐标系，借助六维调节平台确保激光干涉仪的光束始终入射于离轴镜中心，构建检测光路，通过光电经纬仪二次测量标定点的空间坐标，结合空间坐标变换算法解算出离轴角度值；本申请测量精度高、避免镜面损伤、环境适应性强、测量范围大及自动化程度高等优势，适用于光学系统制造和调试中的离轴角精密测量需求。