基于离子束流在线调控的离子束去除函数确定性生成方法

本发明公开了一种基于离子束流在线调控的离子束去除函数确定性生成方法，包括将所需的去除函数的峰值去除效率和半峰全宽输入第一神经网络模型获得以离子束流的峰值束流密度和半峰全宽，再输入第二神经网络模型以获得光阑孔径和靶距的目标值，调节离子束设备的光阑孔径和靶距至目标值，然后微调离子束设备的光阑孔径和靶距直至离子束流的束流密度满足要求；补偿去除函数定位误差；控制离子束设备针对工件进行试验以实现确定性生成所需的去除函数。本发明旨在解决真空环境下离子束加工的去除函数参数未知不可控、且制作去除函数过程繁琐的问题，实现离子束去除函数确定性生成。