摘要
本发明公开了一种基于玻璃基板的传感器封装结构及制造方法。该方法包括在玻璃基板的同一面上制作多个互联结构;将传感器芯片的电性焊盘朝下焊接在多个互联结构的线路层之上;其中,多个互联结构为相邻设置的多个互联结构;使用绝缘密封树脂将传感器芯片、线路层和金属柱完全包覆进行封装,封装后对绝缘密封树脂进行打磨减薄,露出金属柱;在金属柱的表面制作金属焊盘,并在金属焊盘上制作金属焊球,得到封装结构组;将封装结构组进行切割,得到单个封装结构。本发明缩短了传感器的互联路径,提高垂直互联密度,提升传感器的响应速度,同时解决封装体积大的问题,提升了生产效率,降低了制造成本。
技术关键词
传感器封装结构
传感器芯片
玻璃基板
金属焊球
光学粘合胶
线路
绝缘
焊盘
电镀
环氧树脂
凸点
机械
包裹
密度
系统为您推荐了相关专利信息
温度传感器芯片
安装底座
外罩
非金属材质
卡扣结构
压力传感器芯片
金属互连结构
异质结构
脉冲电镀工艺
气相沉积技术
穿戴物品
穿戴装置
MEMS传感器芯片
可充电电池
充电电池模组
氧传感器芯片
测试工装
旋转托盘
采集卡
旋转气缸
尖晶石粉末
氧化铝粉末
传感器芯片
碳酸钙粉末
氮氧传感器技术