摘要
本发明公开了一种基于玻璃基板的传感器封装结构及制造方法。该方法包括在玻璃基板的同一面上制作多个互联结构;将传感器芯片的电性焊盘朝下焊接在多个互联结构的线路层之上;其中,多个互联结构为相邻设置的多个互联结构;使用绝缘密封树脂将传感器芯片、线路层和金属柱完全包覆进行封装,封装后对绝缘密封树脂进行打磨减薄,露出金属柱;在金属柱的表面制作金属焊盘,并在金属焊盘上制作金属焊球,得到封装结构组;将封装结构组进行切割,得到单个封装结构。本发明缩短了传感器的互联路径,提高垂直互联密度,提升传感器的响应速度,同时解决封装体积大的问题,提升了生产效率,降低了制造成本。
技术关键词
传感器封装结构
传感器芯片
玻璃基板
金属焊球
光学粘合胶
线路
绝缘
焊盘
电镀
环氧树脂
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机械
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