一种基于改进遗传算法的半导体晶圆制造系统调度方法

本发明具体涉及一种基于改进遗传算法的半导体晶圆制造系统调度方法，包括：根据晶圆制造系统和加工流程建立时间Petri网模型，确定时间Petri网模型的初始标识、目标标识及变迁发射规则；初始化遗传算法的参数，采用随机搜索算法生成初始种群；计算种群中个体的适应度函数，利用适应度共享机制更新适应度函数，所述适应度共享机制包括计算个体间的相似度并调整适应度值以维持种群多样性；根据更新后的适应度函数对种群进行选择、交叉和变异操作，经过迭代得到时间Petri网模型的调度结果。本发明基于改进的遗传算法通过共享适应度机制扩大了Petri网模型可达图的探索空间，从而跳出局部最优解得到更好的调度结果。