基于改进点扩散函数的电子束曝光沉积能量预测方法及系统

本发明公开了一种基于改进点扩散函数的电子束曝光沉积能量预测方法及系统，方法包括步骤：S1.获取电子束曝光产生的二维沉积能量分布数据，并根据二维沉积能量分布数据的轴对称性将其处理为一维数据；S2.基于步骤S1生成的一维数据特性，构建以反比例点扩散函数为核心的沉积能量预测模型；S3.基于最小二乘法对步骤S2中的沉积能量预测模型进行参数初步估计，确定参数的合理搜索范围；随后基于粒子群算法在合理搜索范围内进行全局优化，以最小化预测误差为目标，实现参数精确拟合。本发明具有提升模型预测精度等优点。