摘要
本发明属于芯片堆叠封装技术领域,尤其涉及一种3D垂直堆叠封装结构及其封装工艺,包括基板,基板上粘合有第一芯片,第一芯片两端与基板之间均设有键合线一,第一芯片上粘合有第二芯片,第二芯片两端与基板之间均设有键合线二,第二芯片上粘合有第三芯片,第三芯片两端与基板之间均设有键合线三,基板、第一芯片、第二芯片和第三芯片,两两之间均设有胶层,保证了整体封装结构的稳定性,在第三芯片上端可贴合更多的芯片,实现更多芯片的堆叠,减少了封装面积,适配更小设备的安装。
技术关键词
堆叠封装结构
旋转圆台
封装工艺
旋转上料组件
基板
芯片堆叠封装技术
主体支架
齿轮啮合传动
整体封装结构
侧支撑板
封装台
传动组件
键合设备
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