一种炉腔测温窗清洁控制方法及系统

本发明涉及碳化硅晶体生长检测技术领域，具体涉及一种炉腔测温窗清洁控制方法及系统。本发明通过采集炉腔测温窗的图像，并对图像数据进行处理分析，能够准确获取测温窗的遮挡率和炉腔内工艺参数，然后通过遮挡率阈值比较算法，联锁控制炉腔内测温窗吹扫设备的启停和运行时间，可有效克服人工判断不准、不及时的问题，保障长晶过程中炉腔测温及腔内温度控制的准确性；且通过将图像处理结果应用于长晶上位控制系统，根据图像分析数据实时调整碳化硅原料配方，能够有效提升长晶质量；本发明通过自动化吹扫过程，既减少了实时吹扫对长晶气流的影响，又减少了人工手动操作，且系统整体布置安装方便，运行稳定可靠，清洁效率高，实现成本低，易于推广。