基于深度学习的晶圆级探针台接触痕迹智能评估分析方法

本发明提供基于深度学习的晶圆级探针台接触痕迹智能评估分析方法，涉及晶圆级探针技术领域，包括通过获取接触痕迹图像并进行去噪、增强和边缘检测，构建级联深度学习模型实现接触痕迹的精确分割。分割后的区域输入质量评估网络，基于评估分数优化探针台的接触参数，确保接触痕迹质量持续提升。该技术有效提高了接触痕迹的评估准确性和优化效率。