一种水平双面电镀的阴阳极控制方法

本发明提供了一种水平双面电镀的阴阳极控制方法，该方法包括：将阳极分为上下两层并划分为多个径向宽度递减的同心环状独立控制区域；通过隔离式电子开关组件对各区域电流进行分时独立控制，并根据电镀件厚度分布动态调整通断时间比，控制电镀件旋转的同时，通过双脉冲电源交替输出正反向脉冲电流实现电镀与蚀刻削峰；本发明通过优化的阳极分区设计、精确的电流分时控制和旋转阴极的协同作用，有效解决了传统电镀技术中电场分布不均导致的厚度差异问题，同时降低了设备成本，并实现了电镀与蚀刻工艺的单腔体集成。本发明涉及TGV电镀工艺领域。