机械手臂位置检测装置及检测方法

本发明提供了一种机械手臂位置检测装置及检测方法，包括：摄像元件，设于机械手臂上靠近末端执行器的部分且用于在所述末端执行器取放晶圆的过程中实时地采集检测图像；检测组件，用于识别所述检测图像中所述末端执行器的位置，以判断所述末端执行器位置是否异常。相比传统的目视法，本方案能够提供更精确的监测到机械手臂的末端执行器的位置异常情况，减少末端执行器对晶圆的机械刮伤，降低良率损失、晶圆破片或晶圆报废等问题。