一种基于高陡度滤光片的薄膜元件的面形修正方法

本发明涉及一种基于高陡度滤光片的薄膜元件的面形修正方法，解决在双面镀膜时，如何精确把握SiO2膜的厚度，达到利用SiO2膜应力来控制薄膜元件面形的问题。本发明通过建立薄膜元件的面形修正数学模型，得到同一薄膜元件两次面形修正后SiO2膜厚度与薄膜元件形变之间的数学模型，随后采用高、低折射率的两种材料制备高陡度滤光片并将其镀在基底前表面，根据基底前表面的高陡度滤光片厚度计算出第一次面形修正的SiO2膜厚度进行第一次面形修正，随后根据薄膜元件的面形修正数学模型计算出第二次面形修正的SiO2膜厚度进行第二次面形修正，根据同一薄膜元件两次面形修正后SiO2膜厚度与薄膜元件形变之间的关系可知，进行两次面形修正，即可达到理想的面形。