金属引线键合机

本发明涉及半导体封装及微电子制造技术领域，具体提供一种金属引线键合机，包括超声波焊头组件、频率可调的超声波发生器、Z轴直线电机、R轴直驱旋转电机和恒力磁弹簧，超声波发生器与超声波焊头组件连接，R轴直驱旋转电机位于Z轴直线电机下方、超声波焊头组件上方且固定在Z轴直线电机的动子上，R轴直驱旋转电机还与超声波焊头组件固定连接，恒力磁弹簧竖直设置，恒力磁弹簧的轴固定在Z轴直线电机的定子上，恒力磁弹簧的轴套固定在Z轴直线电机的动子上。由此，既能够实现多个不同材料的键合，又提高了定位精度，还提升了响应速度。