一种基于对抗性域自适应的工艺参数预测方法及系统

本发明公开一种基于对抗性域自适应的工艺参数预测方法及系统，包括以下步骤：获取源工况域和目标工况域的工艺参数时序数据，所述数据包含多个过程变量及对应的目标质量参数标签；提取源域与目标域数据的特征，并利用判别器结合梯度翻转层对特征进行对抗训练，使源域与目标域的特征分布对齐；计算源域与目标域样本间的相似度，选取跨域最近邻样本对，通过最小化相似样本对的特征表示距离增强域间一致性；同时对上述的数据进行训练，实现不同工况下的特征对齐；使用特征对齐后的数据进行模型训练，生成预测模型；将目标工况的实时工艺参数输入所述预测模型，输出目标质量参数预测值。