一种晶圆玻璃载片厚度测量分类装置

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一种晶圆玻璃载片厚度测量分类装置
申请号:CN202510522533
申请日期:2025-04-24
公开号:CN120205471A
公开日期:2025-06-27
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种晶圆玻璃载片厚度测量分类装置,涉及晶圆玻璃载片检测技术领域,包括底板以及设置于底板的第一输送带和第二输送带,还包括设置于底板用于对晶圆玻璃载片进行厚度检测的检测组件、设置于第一输送带用于对待检测的晶圆玻璃载片进行连续性输送的输送组件、设置于第二输送带用于对检测完成的晶圆玻璃载片进行分类的分类组件。本发明的晶圆玻璃载片厚度测量分类装置,通过检测组件和输送组件的设置,在实现了对晶圆玻璃载片厚度检测自动化的同时,通过分类组件和抓取组件的配合作用下,实现了对晶圆玻璃载片厚度的连续检测以及检测后的分类。
技术关键词
分类装置 玻璃 晶圆 安装框 输送板 信号控制柜 激光扫描仪 输送组件 U型板 抓取组件 检测组件 底板 安装板 传动轮 机器人 移动组件 无线控制器 限位组件 抽气泵 驱动组件
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