曝光参数确定方法、光刻方法、装置及存储介质、设备

一种曝光参数确定方法、光刻方法、装置及存储介质、设备。所述曝光参数确定方法包括：获取晶圆的焦距能量矩阵；利用所获取的焦距能量矩阵对所述晶圆进行曝光，得到所述焦距能量矩阵中各曝光参数组合对应的CD量测图像；将各曝光参数组合及各曝光参数组合对应的CD量测图像输入至第一机器学习模型，利用所述第一机器学习模型对所得到CD量测图像进行识别，并输出最佳曝光参数组合。采用上述方案，可以提高确定曝光参数的效率及准确性。