摘要
本发明涉及一种铝栅抛光后清洗液,按照重量份计算,包括如下组分:功能剂1‑10份;螯合剂1‑10份;氧化剂0.1‑0.5份;超纯水80‑90份。本发明还公开上述清洗液的制备方法与应用。本发明采用的功能剂分子结构具有两亲性,一端为极性亲水基团,另一端为非极性烃链疏水基团;氧化剂在铝栅表面发生氧化反应生成氧化物的钝化层,功能剂在铝栅表面形成物理吸附,起到协同保护作用,降低铝栅腐蚀速率。螯合剂中的羧基还可以与氧化剂和功能剂中的苯环形成p‑π共轭结构,在铝栅表面产生致密的吸附膜从而抑制腐蚀。
技术关键词
抛光后清洗液
超纯水
螯合剂
氧化剂
四氢呋喃
有机过氧化物
嘌呤
二氢
壬基苯基
甲基
氨基
共轭结构
亲水基团
芯片
呋喃酮
吸附膜
异丙苯
两亲性
烷基苯
亚乙基
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