一种扫描微镜的噪声滤波和振动抑制方法及系统

本发明涉及一种扫描微镜的噪声滤波和振动抑制方法及系统，包括：构建扫描微镜在无振动时的运动特性模型，获得无振动时扫描微镜的模型输出；将获取扫描微镜的多源融合噪声和未知振动干扰建模为高斯混合模型和振动冲击干扰；确定高斯混合噪声参数，并将单一的滤波更新部分转变为交互式多模型融合更新；基于交互式多模型融合更新，将更新部分构建为非线性回归形式的振动抑制目标函数，并寻求振动抑制目标函数最小化；基于每一部分的滤波结果和后验协方差阵，计算更新的似然函数和模型概率，并得到融合滤波值，实现扫描微镜的自适应滤波和振动抑制。与现有技术相比，本发明具有不需要依靠额外的振动测量传感器有效实现自适应滤波与振动抑制等优点。