一种基于顶部金属反射光栅的紧凑型超窄线宽外腔激光器

本发明涉及半导体激光器技术领域，具体为一种基于顶部金属反射光栅的紧凑型超窄线宽外腔激光器，包括：增益芯片，所述增益芯片左端面镀设有高反射膜，所述增益芯片右端面镀设有第一增透膜；所述增益芯片右侧设置有金属光栅波导，所述增益芯片的右端面与所述金属光栅波导的左端面对准贴合，所述金属光栅波导左端面镀设有第二增透膜，所述金属光栅波导右端面镀设有第三增透膜；所述增益芯片包括衬底，所述衬底上部设置有背脊光波导，所述背脊光波导上部设置有金属盖布拉格反射光栅。本发明通过厘米级金属光栅与低损耗耦合结构，实现3dB线宽＜750Hz及M2＜1.1的光束质量。