退火设备的仿真方法、装置、计算机设备和可读存储介质

本申请涉及一种退火设备的仿真方法、装置、计算机设备和可读存储介质。方法包括：获取退火设备的仿真目标；根据仿真目标对退火设备进行几何建模，得到退火设备的二维几何模型和三维几何模型；基于二维几何模型进行二维仿真，得到满足仿真目标的第一仿真案例；根据第一仿真案例构建三维几何模型的第二仿真案例；基于第二仿真案例和三维几何模型进行三维仿真，得到仿真数据；对仿真数据进行分析，确定退火设备的工艺优化策略。采用本方法能够简化仿真流程。