一种稀疏压缩重建LDI亚像素图像的处理方法、系统及应用

本发明提供了一种稀疏压缩重建LDI亚像素图像的处理方法、系统及应用，方法包含通过计算机图像压缩算法，预先计算出与每个相位结构对应的低分辨率待曝光图像；将计算得到的低分辨率待曝光图像按时序加载至数字微反射镜，每个图案的显示时刻与对应相位结构的旋转位置匹配；通过4‑f光学系统将数字微反射镜的图案与相位编码掩模在频域耦合，利用衍射效应重建出亚像素级别的高分辨率曝光图案；将重建后高分辨率曝光图案的高分辨率光场投射至光刻胶表面，通过累积曝光剂量形成目标电路图形；显影后获得亚像素精度的微纳结构。系统包含图像压缩模块、图案匹配模块及图形形成模块。本发明在同样精度情况下降低了激光直接成像设备的制造成本。