三电极柔性应变触觉传感器及其制备方法、电路和系统

本发明三电极柔性应变触觉传感器的制备方法、传感器、电路和系统，该方法包括：S1：在柔性基底上沉积第一导电薄膜并在所述导电薄膜的一侧引出第一电极并封装；S2：在坐标纸上用石墨铅笔沉积与所述第一导电薄膜尺寸相同的第二导电薄膜，并在所述第二导电薄膜的两侧引出第二电极和第三电极并封装；S3：将所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜使用垫片镜像放置，封装形成三电极柔性应变触觉传感器。上述方案能够通过信号解耦的方式分析出传感器的应变状态与触觉信息，能够在减少传感器的布线复杂程度的同时，又能保持的触觉与应变信息被及时检测，具有广阔的市场应用前景。