一种渐变Si-Al合金涂层金刚石/铝基复合材料及其制备方法和应用

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一种渐变Si-Al合金涂层金刚石/铝基复合材料及其制备方法和应用
申请号:CN202510554734
申请日期:2025-04-29
公开号:CN120205811A
公开日期:2025-06-27
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种渐变Si‑Al合金涂层金刚石/铝基复合材料及其制备方法和应用,所述渐变Si‑Al合金涂层金刚石/铝基复合材料由铝基体以及均匀分散于铝基体中的改性金刚石构成,所述改性金刚石包括金刚石颗粒以及包覆于金刚石颗粒表面的渐变Si‑Al合金涂层,所述渐变Si‑Al合金涂层中,从内至外Si的质量分数从100%线性递减至0%,Al的质量分数从0%线性递增至100%。本发明通过在金刚石表面构建组分渐变可控的Si‑Al合金涂层,既能与金刚石形成强结合力的SiC过渡层,从内到外形成梯度渐变涂层有助于释放内应力,又能与铝基体实现良好的冶金结合,抑制Al4C3相的形成,从而显著提高复合材料的性能。
技术关键词
铝基复合材料 Al合金 改性金刚石 涂层 金刚石颗粒表面 双靶磁控溅射 装入模具 热处理 磁控溅射沉积 熔铝坩埚 基体 包套 线性 半导体芯片 功率 抽真空 速率 丁酮
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