一种光电镊芯片及其制造方法

本申请公开了一种光电镊芯片及其制造方法，本申请的光电镊芯片，在基底上设置光电导单元，当光束照射在该光电导单元上时能激发产生介电泳力，能实现对细胞的有效操控。再在光电导单元的上方设置由PEG材料层形成的中间层，PEG材料能保护光电导单元，又能防止微物体黏附。中间层的上方设置的多个间隔分布的纳米柱，微物体与纳米柱接触时，由于较小的接触面积，能有效避免细胞的粘连；纳米柱与溶液之间的介电常数差异还能形成集中的电场，可以对微物体产生排斥力，进一步防止细胞粘连在该光电镊芯片上。