基于高细分插值线性处理电路的光栅三维位移测量系统

本发明属于微位移测量系统技术领域，具体涉及一种基于高细分插值线性处理电路的光栅三维位移测量系统，包括光栅泰伯像三维微位移装置、90度移相电路、直流偏置电路、细分插值电路，所述光栅泰伯像三维微位移装置与90度移相电路电性连接，所述90度移相电路与直流偏置电路电性连接，所述直流偏置电路与细分插值电路电性连接。本发明通过采用高细分插值电路技术，并结合90度移相电路和高精度偏置电压电路，显著抑制了插值细分过程中因光栅加工误差引起的相位、幅值和偏置误差，从而大幅提升了微位移测量的分辨率和精度。本发明采用高倍细分插值线性化处理电路，在确保高灵敏度的同时，扩展了微位移测量的线性范围，实现了全量程范围内线性度的显著提升。