一种高分辨率光栅MOEMS加速度计结构细分插值线性处理电路

本发明属于加速度计技术领域，具体涉及一种高分辨率光栅MOEMS加速度计结构细分插值线性处理电路，包括加速度计结构、90度移相电路、直流偏置电路、细分插值电路，所述加速度计结构与90度移相电路电性连接，所述90度移相电路与直流偏置电路电性连接，所述直流偏置电路与细分插值电路电性连接。本发明通过引入高倍细分插值技术、90度移相电路技术以及高精度直流偏置电路技术，显著提升了插值细分电路的插值因子和输出信号的稳定性。本发明有效抑制了因光栅加工和装配误差导致的相位、幅值和偏置误差，从而将输入的正弦信号稳定地转换为细分万倍后的方波信号输出，实现了全量程的高精度线性测量。