BCD器件工艺控制方法、装置、存储介质及设备

一种BCD器件工艺控制方法、装置、存储介质及设备。所述控制方法包括：采集BCD器件工艺过程中的实时故障检测与分类数据；将所采集的故障检测与分类数据输入至预设的深度强化学习模型，以获得调整后的工艺参数；利用所述调整后的工艺参数对BCD器件工艺过程进行实时控制。采用本发明的方案，可以减少BCD工艺的波动，以提升BCD器件性能的稳定性。