一种检测卡、制作方法及检测卡应用于芯片制作的方法

本发明涉及芯片制作技术领域，基于本发明提供的制作方法制备检测卡，检测卡包括探针、弹性件、不导电的引针板、稳针板及顶板，引针板为透明不导电材质，便于将探针与芯片上的电极对齐，稳针板对探针限位，且避免探针移动划伤芯片，弹性件补偿探针长度误差和电极厚度误差导致的探针与电极的距离差，保证探针与电极稳定接触。将制备的探针卡应用于芯片制作过程中，对瑕疵芯片进行检测，在基片切割前，先对大的整体基片加电老化检测，将有缺陷的芯片分拣出来，切割时对应剔除，降低出货不良品率。一次性同时检测多个芯片，降低了工作量，节省时间，相比于封装后再进行老化检测，方法简单，大幅缩短了整体工序周期，降低成本。