一种新型传片装置位置矫正方法及新型传片装置

本申请提供一种新型传片装置位置矫正方法及新型传片装置，属于一般的控制或调节系统领域，方法包括在机械臂中设置两个孔洞，在机械臂向真空腔室移动的过程中利用传感器检测孔洞位置，并基于两孔洞之间的距离及对应的电机脉冲数量，得到机械臂实际的平均脉冲距离，基于该平均脉冲距离与剩余移动距离之间的比值更新目标脉冲数量，基于该目标脉冲数量控制机械臂向真空腔室移动。由于对机械臂的移动控制不以固定零点为参考，而是基于两孔洞之间的距离确定目标脉冲数量，因此，零点位置的准确与否并不影响脉冲数量的计算，即并不影响机械臂的移动控制，而机械臂的结构稳定，使得两孔洞之间的距离固定，提高了机械臂移动控制的准确性以及传片准确性。