基于模板匹配的半导体SEM图像拼接方法及系统

本发明提供基于模板匹配的半导体SEM图像拼接方法，属于图像拼接领域，包括选取重叠区域一，在源图中寻找与重叠区域一匹配的重叠区域二；在重叠区域一选取模板一、模板二，在重叠区域二选取搜索区域一、搜索区域二；将模板一在搜索区域一内进行模板匹配，模板二在搜索区域二中进行模板匹配，直到匹配误差小于设定阈值，完成一对模板的匹配，更新匹配点计数和当前步长，记录模板全局坐标与最佳匹配位置，当模板移动到边界处，若匹配点计数仍为零则输出无法匹配的结果，反之则输出记录的匹配点对集合；计算平面交换矩阵，采用加权平均方法将源图和待匹配图进行融合，得到拼接后的图像；还提供拼接系统；解决现有图像拼接算法存在拼接效果较差的问题。