基于压电致动器驱动的三轴定位微米级小零件组装平台

基于压电致动器驱动的三轴定位微米级小零件组装平台，涉及精密机械工程技术领域，其包括双轴向压电定位平台，设置有用于放置零件的载台以及用于驱动载台沿X轴进行微米级移动的第一压电致动器或沿Y轴进行微米级移动的第二压电致动器；旋转压电定位平台，连接在所述双轴向压电定位平台的底部，设置有用于带动双轴向压电定位平台进行微米级转动的第三压电制动器。本发明突破了传统定位平台体积大、精度低的技术瓶颈，实现X/Y轴平移精度、旋转角度误差的微米级定位，体积较同类产品更为缩小，更适配微电子封装、生物芯片组装等高精度场景，为微型化精密制造装备提供了革新性解决方案。