半导体光电芯片异常检测方法、装置及计算设备

本发明公开了一种半导体光电芯片异常检测方法、装置及计算设备，方法包括：载入目标半导体光电芯片的基于第一色彩模型的第一目标芯片图像，并转换为基于第二色彩模型的第二目标芯片图像，第二色彩模型包括红色信道、饱和度信道和亮度信道；对第二目标芯片图像进行超像素分割，得到目标芯片超像素图像，并采集目标芯片超像素图像中的每个目标超像素的特征向量；利用目标视觉大模型，预测出目标芯片超像素图像中的多个目标关键区域；基于各个目标超像素的特征向量，为每个目标关键区域生成对应的OCSVM模型；基于任一目标关键区域对应的OCSVM模型，来对任一目标关键区域进行异常检测。本发明能够针对半导体光电芯片的单一关键区域进行精确的异常检测。