摘要
本发明属于电子芯片封装技术领域,提供一种多芯片集成模组及其制造方法、多芯片集成系统,其技术方案为:包括底板、至少一个芯片、针套和引脚插针、环氧树脂和塑封模具;所述底板的上表面设置芯片指定位置区域和针套指定位置区域;在芯片指定位置区域放置待贴合的芯片,芯片与芯片之间或芯片与底板之间电连接;在针套指定位置区域焊接有针套;所述塑封模具包括上模和下模,所述下模设置于底板底部,上模内凹形成一个腔体,腔体内容纳底板、芯片和针套,塑封模具合模后,腔体内浇筑环氧树脂,塑封完成后,将塑封模具取出;引脚插针和塑封完成后的针套插接。相比于传统的灌胶保护,效率也更高,成品的良率也更高。
技术关键词
多芯片集成模组
塑封模具
环氧树脂
底板
电子芯片封装技术
插针
集成系统
等离子清洗机
腔体
焊接线
下模
上印刷
薄膜
电信号
成品
真空
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