曲线掩模的掩模工艺修正方法

本公开的实施例提供了曲线掩模的掩模工艺修正方法、电子设备和计算机可读存储介质。该掩模工艺修正方法包括：将曲线掩模的曲线段分为多个区段并确定与多个区段分别相对应的多个仿真采样点；基于多个仿真采样点中的相应仿真采样点的位置数据并且基于对掩模制造过程的仿真，确定相应仿真采样点所在的区段的预估位置；以及基于预估位置与相应仿真采样点所在的区段的期望位置之间的偏差，调整相应仿真采样点所在的区段的位置。