高精度面形测量系统误差分离与补偿方法

本发明涉及高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，该系统包括高精度测量仪、轴系运动链路模块、高精度计量链路模块和上位机处理模块。本发明创新性地提出了基于双链路架构的两步误差分离补偿方法，通过分析高精度测量仪的运动结构和测量策略，构建了运动链路和计量链路协同工作的新型误差处理体系。采用运动链路误差的离线测量标定技术，建立运动链路空间误差模型，实现轴系定位误差的在线补偿；运用计量链路误差在线测量离线分离技术，利用计量链路空间误差传递模型完成测量结果误差的离线后处理补偿。本发明实现了对各类误差源的高精度测量与分离，整体精度提升85%以上，成功突破了传统测量技术中米级量程与纳米级精度难以兼顾的技术瓶颈。