一种超精密回转轴系回转误差测量系统及测量方法

本发明公开了一种超精密回转轴系回转误差测量系统及测量方法，该系统包括回转分度盘、伺服电机、弹簧、主轴、大理石平台以及可移动式传感器夹持装置等；该方法包括：利用旋转体控制传感器在回转分度盘上的角度，使径向与轴向传感器均处于最佳测量位置；调节回转分度盘的安装高度；当测量系统平稳运行后，同时利用布置在最佳测量位置的三个高精度位移传感器实时同步采集转台主轴的动态位移数据；采用小波降噪算法对原始信号进行预处理，随后，将处理后的20转稳定运行数据进行傅里叶变换分析，得到频域信号；从经过降噪处理后的测量数据中提取同步运动误差和异步运动误差，并基于三点法误差分离原理，利用测量数据对数学模型参数进行求解。